最先端の環境関連技術でクリーンな循環型社会構築を目指す月島環境エンジニアリング
BMBジェネレーター
BMBジェネレーター
- 吸収・吸着技術
高濃度オゾン水を大量かつ安価に製造
特長
・100～180ppmの超高濃度オゾン水を大量かつ安価に製造可能
・レジスト剥離における高レート（3～4μm）の達成
・世界記録234ppmを達成
・硫酸フリーにより、硫酸はもちろん、後リンス水周辺機器が省略可能。また、溶剤フリーを達成
・高いオゾンガスの回収率
・オゾナイザーの小型化が可能
・廃オゾンガス分解触媒を大幅減少
・HCl、NH3等の排ガス処理が不要
・クリーンルーム内の作業環境を健全化
・膜交換等のメンテナンスが不要
鉄鋼・金属・製紙・無機工業 ／ バイオ・医療・食品関連 ／ 半導体・液晶関係
製品説明
当社では200ppm以上（チャンピオンデータ234ppm：写真参照）の超高濃度オゾン水を製造できるBMBジェネレーターの開発に成功しました。
100ppm～200ppmの超高濃度オゾン水製造が可能であるのみならず、廃オゾンガス回収率もこれまでの50％に対して90％以上の高い回収率を達成でき、作業環境を健全化します。
廃オゾンガス回収率もこれまでの50％に対して90％以上の高い回収率を達成でき、作業環境を健全化します。
またBMBジェネレーターは、金属や樹脂の表面改質等にも応用できます。
プロセスフロー
