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BMBジェネレーター

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BMBジェネレーター

  • BMBジェネレーター
  • 吸収・吸着技術

高濃度オゾン水を大量かつ安価に製造

特長

・100~180ppmの超高濃度オゾン水を大量かつ安価に製造可能
・レジスト剥離における高レート(3~4μm)の達成
・世界記録234ppmを達成
・硫酸フリーにより、硫酸はもちろん、後リンス水周辺機器が省略可能。また、溶剤フリーを達成
・高いオゾンガスの回収率
・オゾナイザーの小型化が可能
・廃オゾンガス分解触媒を大幅減少
・HCl、NH3等の排ガス処理が不要
・クリーンルーム内の作業環境を健全化
・膜交換等のメンテナンスが不要

鉄鋼・金属・製紙・無機工業 / バイオ・医療・食品関連 / 半導体・液晶関連

製品説明

当社では200ppm以上(チャンピオンデータ234ppm:写真参照)の超高濃度オゾン水を製造できるBMBジェネレーターの開発に成功しました。
100ppm~200ppmの超高濃度オゾン水製造が可能であるのみならず、廃オゾンガス回収率もこれまでの50%に対して90%以上の高い回収率を達成でき、作業環境を健全化します。
廃オゾンガス回収率もこれまでの50%に対して90%以上の高い回収率を達成でき、作業環境を健全化します。
またBMBジェネレーターは、金属や樹脂の表面改質等にも応用できます。

プロセスフロー

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