溶剤回収に蒸気が不要な省エネ装置
特長
・希薄VOCからの処理可能(数百ppm~)
・蒸気を使用しないため、省ランニングコスト
・回収溶剤の熱分解がないため、Cl系有機物が含有していても対応可能
・コンパクトな装置
半導体・液晶関係
吸着と脱着時の系内圧力を変更することで、吸着/脱着を行う圧力スイング吸着装置です。
明治大学と共同で開発しました。
常圧から0.5MPaGの圧力条件下で原ガスは吸着層に導入されて吸着され、原ガスは清浄な空気として排気されます。吸着が進むと吸着能力を失いますので、圧力を2.7~27kPa(20~200Torr)に減圧することにより、溶剤分を脱着させます。溶剤はそのまま液体となって回収されます。