最先端の環境関連技術でクリーンな循環型社会構築を目指す月島環境エンジニアリング
「バイオ・医療・食品関連」の検索結果
全16件
- 吸収・吸着技術
BMBジェネレーター
特長
・100～180ppmの超高濃度オゾン水を大量かつ安価に製造可能
・レジスト剥離における高レート（3～4μm）の達成
・世界記録234ppmを達成
・硫酸フリーにより、硫酸はもちろん、後リンス水周辺機器が省略可能。また、溶剤フリーを達成
・高いオゾンガスの回収率
・オゾナイザーの小型化が可能
・廃オゾンガス分解触媒を大幅減少
・HCl、NH3等の排ガス処理が不要
・クリーンルーム内の作業環境を健全化
・膜交換等のメンテナンスが不要
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