PSA(Pressure Swing adsorption)型溶剤回収装置
特長
FEATURE1
希薄VOCからの処理可能（数百ppm～）
FEATURE2
脱着時に蒸気を使用しないため、省ランニングコスト
FEATURE3
回収溶剤の熱分解がないため、塩素系有機物が含有していても対応可能
FEATURE4
原ガス中のＶＯＣが比較的低濃度でも濃縮装置を設置することないため装置がコンパクト
活用例など
半導体、液晶、フィルム、化成品製造工程
プロセスフロー
常圧から0.5MPaGの圧力条件下で原ガスは吸着層に導入されて吸着され、原ガスは清浄な空気として排気されます。吸着材が飽和に近づく時間で圧力を2.7～27kPa（20～200Torr）に減圧し、溶剤分を脱着させます。溶剤は冷却器で液体となって回収されます。
