TSA(Temperature Swing Adsorption)型溶剤回収装置

半導体、液晶、フィルムの製造工程

溶剤の含有する原ガスは、原ガスクーラーで冷却された後、吸着層に導入され、活性炭充填層を通過する過程で、溶剤分は活性炭に吸着され、原ガスは清浄な空気として排気されます。
吸着が進むと、活性炭はその吸着能力を失いますので、蒸気を吹き込むことにより、溶剤分を脱着させます。その後、真空ポンプで系内を負圧にすることにより、脱着効率を高めます。（当社特許技術）

脱着された溶剤蒸気を冷却します。比重の差により溶剤分は水と分離され、回収されます。
分離した水分に水溶性溶剤を含む場合は、更に蒸留操作にて溶剤を回収することが可能です。

回収した水溶性溶剤は蒸留により、水層と分離可能です。
製造工程で必要な溶剤に回収溶剤を調合し、製造工程に供給する完全なリサイクル設備として、一貫したエンジニアリングで、構築可能です。